Molekularvakuumpumpe

EP3693610 Art B1 22. Dezember 2021

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3693610
Aktenzeichen
EP20153779
Anmeldetag
27. Januar 2020
Veröffentlichung
22. Dezember 2021
Erteilung
22. Dezember 2021
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04D29/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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