Lithographische Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung
EP3693796
Art A1
12. August 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3693796
- Aktenzeichen
- EP19156092
- Anmeldetag
- 8. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 12. August 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20B08B7/00G02B26/10G02B27/00B23K26/0622
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Slenders, Petrus Johannes Waltherus
Eindhoven, Niederlande
244
Patente gesamt
17
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven