System mit Geladenen Teilchenstrahlen und Verfahren zur Messung einer Probe mit einem Rasterelektronenmikroskop

EP3693989 Art A1 12. August 2020

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3693989
Aktenzeichen: EP20154134
Anmeldetag: 28. Januar 2020
Veröffentlichung: 12. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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