Silizium-Elektronen-Emitter-Entwürfe

EP3695277 Art A1 19. August 2020

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3695277
Aktenzeichen
EP18865694
Anmeldetag
10. Oktober 2018
Veröffentlichung
19. August 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F1/80H01L21/66H01L21/027H01J1/304H01J37/073H01J1/34// H01J37/28H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Kla-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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