Ruthenium-Eingekapselter Photokathoden-Elektronenemitter
EP3695431
Art B1
28. August 2024
Anmelder: KLA-Tencor Corporation, Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3695431
- Aktenzeichen
- EP18865695
- Anmeldetag
- 10. Oktober 2018
- Veröffentlichung
- 28. August 2024
- Erteilung
- 28. August 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/073H01J37/28H01J1/34H01J40/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KLA-Tencor Corporation
Kla-Tencor Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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