Elektronenstrahlerzeugung und -Messung
EP3695437
Art A1
19. August 2020
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3695437
- Aktenzeichen
- EP18866843
- Anmeldetag
- 5. Oktober 2018
- Veröffentlichung
- 19. August 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/073H01J1/34H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank