Ionenquelle und Ioneninjektionsvorrichtung
EP3699946
Art B1
9. Oktober 2024
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3699946
- Aktenzeichen
- EP18869340
- Anmeldetag
- 28. September 2018
- Veröffentlichung
- 9. Oktober 2024
- Erteilung
- 9. Oktober 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J27/20C23C14/48H01J37/08H01J37/317H01L21/265H05H1/24H01J27/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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