Systeme und Verfahren zur Verhinderung der Haftreibung von Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis Und/oder zur Reparatur von Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis
EP3701561
Art A1
2. September 2020
Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3701561
- Aktenzeichen
- EP18871205
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2018
- Veröffentlichung
- 2. September 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research AG
- Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München