Lichtempfindliche Harzzusammensetzung und Verfahren zum Ätzen von Glassubstraten

EP3702387 Art B1 10. Mai 2023

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3702387
Aktenzeichen: EP20159057
Anmeldetag: 24. Februar 2020
Veröffentlichung: 10. Mai 2023
Erteilung: 10. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C08G59/00C08G2/00C08G59/40C08G65/18G03C1/73G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

927 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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