Chemischer und Mechanischer Polierschlamm zur Isolierung von Flachen Gräben

EP3702424 Art B1 28. Juli 2021

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3702424
Aktenzeichen: EP20158719
Anmeldetag: 21. Februar 2020
Veröffentlichung: 28. Juli 2021
Erteilung: 28. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/3105H01L21/306H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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