Vorrichtung zur Messung des Ionenstrahlstroms, Probenvorbereitungsvorrichtung und Verfahren zur Berechnung des Ionenstrahlstroms

EP3703098 Art B1 28. August 2024

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3703098
Aktenzeichen: EP20156661
Anmeldetag: 11. Februar 2020
Veröffentlichung: 28. August 2024
Erteilung: 28. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/08H01J27/02H01J49/10H01J37/24H01J47/02G01R19/00H01J27/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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