Plasmaverarbeitungsvorrichtung

EP3703102 Art A1 2. September 2020

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3703102
Aktenzeichen: EP20170491
Anmeldetag: 22. September 2016
Veröffentlichung: 2. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01L21/67H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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