Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung einer Sägefolienspannung
EP3705862
Art B1
5. Juli 2023
Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3705862
- Aktenzeichen
- EP19160710
- Anmeldetag
- 5. März 2019
- Veröffentlichung
- 5. Juli 2023
- Erteilung
- 5. Juli 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L1/24G01L5/00G01L5/10H01L21/683
Abstract
A method of monitoring a dicing tape tension is described. The method comprises acquiring tension data indicative of the dicing tape tension by automated optical inspection of each dicing tape.
Anmelder
- Firma
- Infineon Technologies AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Infineon Technologies
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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