Pod zur Aufbewahrung einer Musterungsvorrichtung

EP3705943 Art A1 9. September 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3705943
Aktenzeichen: EP19193245
Anmeldetag: 23. August 2019
Veröffentlichung: 9. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/66G03F7/20H01L21/673B65D85/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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