Verfahren zur Bestimmung der Grundursachen von Ereignissen eines Halbleiterherstellungsprozesses und zur Überwachung eines Halbleiterherstellungsprozesses

EP3705959 Art A1 9. September 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3705959
Aktenzeichen: EP19160513
Anmeldetag: 4. März 2019
Veröffentlichung: 9. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/409G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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