Reinigungsverfahren

EP3707560 Art B1 31. Dezember 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3707560
Aktenzeichen: EP18786339
Anmeldetag: 16. Oktober 2018
Veröffentlichung: 31. Dezember 2025
Erteilung: 31. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00B08B7/04B24C1/00B24C3/16G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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