Halbleitersubstrat und Herstellungsverfahren dafür

EP3712298 Art A1 23. September 2020

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3712298
Aktenzeichen
EP18879890
Anmeldetag
25. Oktober 2018
Veröffentlichung
23. September 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C23C18/16C23C18/18C23C18/34C23C18/42C23C18/52H01L21/28H01L21/288H01L21/3205H01L21/768H01L23/522
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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