Halbleitersubstrat und Herstellungsverfahren dafür
EP3712298
Art A1
23. September 2020
Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3712298
- Aktenzeichen
- EP18879890
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2018
- Veröffentlichung
- 23. September 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C18/16C23C18/18C23C18/34C23C18/42C23C18/52H01L21/28H01L21/288H01L21/3205H01L21/768H01L23/522
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JX Nippon Mining & Metals Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JX Nippon Mining & Metals
JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.
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Vertreten von
-
SSM Sandmair
SSM Sandmair · München