Substrathalter, Substratträger und Verfahren zum Festklemmen eines Substrats an einem Klemmsystem

EP3714329 Art A1 30. September 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3714329
Aktenzeichen: EP18795472
Anmeldetag: 24. Oktober 2018
Veröffentlichung: 30. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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