Reaktionsrohr, Substratverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
EP3715501
Art B1
27. November 2024
Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3715501
- Aktenzeichen
- EP20165340
- Anmeldetag
- 24. März 2020
- Veröffentlichung
- 27. November 2024
- Erteilung
- 27. November 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C30B25/14H01L21/67H01L21/673H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kokusai Electric Corp.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kokusai Electric
Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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Thomas Verscht Patentanwalt
München, Deutschland
Münchner Patentanwalt Thomas Verscht, Diplom-Physiker, berät zu Patenten, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten.
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