Waferinspektionsverfahren und -Wafer

EP3715933 Art B1 21. Februar 2024

Anmelder: Hamamatsu Photonics K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3715933
Aktenzeichen: EP18880935
Anmeldetag: 9. November 2018
Veröffentlichung: 21. Februar 2024
Erteilung: 21. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/00G01N21/95G01J3/26G02B5/28H01L21/67B81B3/00B81C99/00G01J3/02G01J3/12G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hamamatsu Photonics K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hamamatsu Photonics

Japanisches Unternehmen für Photonik mit Sitz in Hamamatsu, spezialisiert auf Photodetektoren, Bildsensoren, Laser und optische Messtechnik für Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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