Aktuatorassistierte Positionierungssysteme und -Verfahren
EP3716311
Art B1
25. Februar 2026
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3716311
- Aktenzeichen
- EP20163637
- Anmeldetag
- 17. März 2020
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2026
- Erteilung
- 25. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/20G03F7/20H01L21/68B23Q1/25
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
506 Patente in unserer Datenbank
Weitere Vertreter
-
Janssen, Francis-Paul
FEI Company · Eindhoven