Rückkopplungssteuerung und -Kohärenz von mehreren Stromversorgungen in Hochfrequenzstromversorgungssystemen für Pulsmodusschemen in der Dünnschichtverarbeitung
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3716477
- Aktenzeichen
- EP20172352
- Anmeldetag
- 21. Februar 2013
- Veröffentlichung
- 17. April 2024
- Erteilung
- 17. April 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H03F3/20H03F1/02H03H7/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
Kilburn & Strode wurde 1906 in London gegründet und war die erste europäische Patent- und Markenkanzlei, deren Anwälte in Kalifornien als Foreign Legal Consultants zugelassen wurden. Präsenzen bestehen zudem in den Niederlanden, München sowie San Francisco und Boston.