Systeme und Verfahren zur Bildverbesserung für ein Mehrstrahliges Ladungspartikelinspektionssystem

EP3719831 Art A1 7. Oktober 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3719831
Aktenzeichen: EP19167583
Anmeldetag: 5. April 2019
Veröffentlichung: 7. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/22G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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