Verfahren zum Abscheiden einer Epitaktischen Schicht auf einer Vorderseite einer Halbleiterscheibe und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

EP3721469 Art A1 14. Oktober 2020

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3721469
Aktenzeichen: EP18811247
Anmeldetag: 28. November 2018
Veröffentlichung: 14. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205H01L21/687C30B25/10C30B25/12C30B29/06C23C16/458C23C16/46C30B25/20H01L21/67

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

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