Vorrichtung und Verfahren zur Zweidimensionalen Nanoindentation
EP3724631
Art B1
8. März 2023
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3724631
- Aktenzeichen
- EP19741203
- Anmeldetag
- 18. Januar 2019
- Veröffentlichung
- 8. März 2023
- Erteilung
- 8. März 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N3/40G01N3/02G01N3/46G01N3/42G01Q60/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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