Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung eines Zustands im Zusammenhang mit einer Pellikel

EP3724721 Art A1 21. Oktober 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3724721
Aktenzeichen: EP18811777
Anmeldetag: 27. November 2018
Veröffentlichung: 21. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F1/64G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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