Überlagerungsmessungen von Überlappenden Zielstrukturen auf der Basis der Symmetrie von Rasterelektronenstrahlsignalen
EP3724723
Art A1
21. Oktober 2020
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3724723
- Aktenzeichen
- EP18888716
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2018
- Veröffentlichung
- 21. Oktober 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N21/84H01L21/66H01L21/67G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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