Photokathodenemittersystem, das Mehrere Elektronenstrahlen Erzeugt
EP3724910
Art A1
21. Oktober 2020
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3724910
- Aktenzeichen
- EP19754911
- Anmeldetag
- 11. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 21. Oktober 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J1/304H01J37/063H01J37/065H01J37/073
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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