Kantenring zur Verwendung in einer Plasmaprozesskammer und System zur Befestigung eines Solchen Kantenringes

EP3724912 Art B1 27. August 2025

Anmelder: Lam Research Corporation, LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3724912
Aktenzeichen
EP17934871
Anmeldetag
15. Dezember 2017
Veröffentlichung
27. August 2025
Erteilung
27. August 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23C16/458C23C16/50H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Lam Research Corporation
LAM Research Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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