Hypochloritonen-Haltige Behandlungsflüssigkeit für Halbleiterwafer
EP3726565
Art A1
21. Oktober 2020
Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3726565
- Aktenzeichen
- EP19741609
- Anmeldetag
- 15. Januar 2019
- Veröffentlichung
- 21. Oktober 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02C11D7/10C11D7/32C11D17/08C11D7/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokuyama Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokuyama
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.
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Kanzlei
Canzler & Bergmeier
Ingolstadt, Deutschland
Canzler & Bergmeier entstand aus der Patentabteilung eines Maschinenbauunternehmens und ist heute die größte Patentanwaltskanzlei der Region Ingolstadt. Technische Ausrichtung in Automobiltechnik, Maschinenbau, Halbleitertechnik, KI und Life Sciences für Start-ups bis Großunternehmen.
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Canzler & Bergmeier Patentanwälte Partnerschaft mbB · Ingolstadt