Verfahren zur Bestimmung einer Messteilmenge von Messpunkten auf einem Substrat, Zugehörige Vorrichtung und Computerprogramm

EP3731019 Art A1 28. Oktober 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3731019
Aktenzeichen: EP19170764
Anmeldetag: 24. April 2019
Veröffentlichung: 28. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/47G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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