Teilchenstrahlvorrichtung und Steuerungsverfahren für ein Optisches System eines Teilchenstrahls

EP3731256 Art B8 26. März 2025

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3731256
Aktenzeichen: EP20164280
Anmeldetag: 19. März 2020
Veröffentlichung: 26. März 2025
Erteilung: 26. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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