Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren

EP3733575 Art A1 4. November 2020

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3733575
Aktenzeichen: EP18896514
Anmeldetag: 11. Dezember 2018
Veröffentlichung: 4. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: B65H7/02B41J2/01B65H23/188B41J11/46B41J15/16B41J11/00// B41J2/21

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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