Turbomolekularpumpe und Verfahren zur Herstellung einer Statorscheibe für eine Solche

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3734078

Aktenzeichen

EP20161194

Anmeldetag

5. März 2020

Veröffentlichung

12. Januar 2022

Erteilung

12. Januar 2022

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D29/02F04D29/54F04D29/64

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe umfassend: einen Rotor mit einer Mehrzahl von über seinen Umfang verteilt angeordneten Rotorschaufeln, der zu einer Rotation um eine Rotationsachse antreibbar ist, um eine Pumpwirkung zu erzeugen, und wenigstens eine Statorscheibe, welche eine Mehrzahl von über ihren Umfang verteilt angeordneten Statorschaufeln aufweist und mit welcher der Rotor zur Erzeugung der Pumpwirkung zusammenwirkt; wobei die Statorschaufeln der Statorscheibe in Bezug auf eine Scheibenebene, welche senkrecht zur Rotationsachse des Rotors verläuft, schräg ausgerichtet sind, wobei die Statorscheibe aus Blech herstellt ist, und wobei wenigstens eine Statorschaufel an einem axialen Ende eine Abplattung aufweist.

Anmelder

Firma

Pfeiffer Vacuum Technology AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete