Bestimmung eines Layouts von Markierungen auf einer Strukturierungsvorrichtung oder einem Substrat

EP3734363 Art A1 4. November 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3734363
Aktenzeichen: EP19171485
Anmeldetag: 29. April 2019
Veröffentlichung: 4. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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