Vakuumpumpe und Verfahren zum Überwachen einer Vakuumpumpe
EP3736447
Art A1
11. November 2020
Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3736447
- Aktenzeichen
- EP20170014
- Anmeldetag
- 17. April 2020
- Veröffentlichung
- 11. November 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D27/00F04D19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum Technology AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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