Komponenten und Verfahren zur Verwaltung von Plasmaprozessnebenproduktmaterialien

EP3738136 Art B1 25. Juni 2025

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3738136
Aktenzeichen
EP19736155
Anmeldetag
7. Januar 2019
Veröffentlichung
25. Juni 2025
Erteilung
25. Juni 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM Research Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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