Drehgeber mit Zusätzlichen Drehachsen

EP3738142 Art B1 11. September 2024

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3738142
Aktenzeichen
EP19738454
Anmeldetag
10. Januar 2019
Veröffentlichung
11. September 2024
Erteilung
11. September 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677H01L21/68H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM Research Corporation
Land
🇺🇸 USA
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