Röntgenmetrologiesystem mit Breitbandiger Lasererzeugter Plasmabeleuchtungsvorrichtung
EP3738181
Art B1
16. Oktober 2024
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3738181
- Aktenzeichen
- EP19738920
- Anmeldetag
- 7. Januar 2019
- Veröffentlichung
- 16. Oktober 2024
- Erteilung
- 16. Oktober 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S5/00H01S5/02H01L21/67H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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