Systeme und Verfahren zur Anpassung von Vorhersagemodellen zwischen Anlagenstandorten

EP3742229 Art A1 25. November 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3742229
Aktenzeichen: EP19175717
Anmeldetag: 21. Mai 2019
Veröffentlichung: 25. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G05B19/418G06N20/00G06Q10/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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