Antischleifmechanismus für Objektträger zur Verbesserung der Lebensdauer von Wälzlagern

EP3742471 Art A1 25. November 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3742471
Aktenzeichen: EP19176502
Anmeldetag: 24. Mai 2019
Veröffentlichung: 25. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20G03F7/20B23Q1/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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