Laminat mit Einkristalldiamantsubstrat

EP3742475 Art A1 25. November 2020

Anmelder: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3742475
Aktenzeichen: EP19738664
Anmeldetag: 11. Januar 2019
Veröffentlichung: 25. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20C23C16/01C23C16/27C30B25/20C30B29/04H01L29/47H01L29/872

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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