Auf Rechnergestützter Metrologie Basiertes Abtastschema

EP3743771 Art A1 2. Dezember 2020

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3743771
Aktenzeichen: EP18825647
Anmeldetag: 17. Dezember 2018
Veröffentlichung: 2. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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