Herstellungsverfahren eines Konkaven Beugungsgitters

EP3745166 Art B1 9. August 2023

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3745166
Aktenzeichen
EP18895679
Anmeldetag
7. November 2018
Veröffentlichung
9. August 2023
Erteilung
9. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G02B5/18B29C59/02B29D11/00C25D1/10// G01J3/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Tech Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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