Wafer, Optische Emissionsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Wafers und Verfahren zur Charakterisierung eines System zur Herstellung eines Wafers
EP3745447
Art A1
2. Dezember 2020
Anmelder: Technische Universität München, Ruhr-Universität Bochum 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3745447
- Aktenzeichen
- EP19177713
- Anmeldetag
- 31. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 2. Dezember 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Technische Universität München
Ruhr-Universität Bochum - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
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Deutsche technische Universität mit Sitz in München, betreibt Forschung und Lehre in Ingenieur-, Natur- und Lebenswissenschaften sowie Medizin.
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