Wellenlängenverfolgungssystem, Verfahren zur Kalibrierung eines Wellenlängenverfolgungssystems, Lithografischer Apparat, Verfahren zur Bestimmung der Absoluten Position eines Beweglichen Objekts und Interferometersystem

EP3746738 Art B1 12. März 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3746738
Aktenzeichen: EP19700393
Anmeldetag: 15. Januar 2019
Veröffentlichung: 12. März 2025
Erteilung: 12. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G03F7/20G01J9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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