Metrologieverfahren und Verfahren zum Trainieren einer Datenstruktur zur Verwendung in der Metrologie

EP3751342 Art A1 16. Dezember 2020

Anmelder: Stichting VU, ASML Netherlands B.V., Stichting Nederlandse Wetenschappelijk, Universiteit van Amsterdam 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3751342
Aktenzeichen: EP19179972
Anmeldetag: 13. Juni 2019
Veröffentlichung: 16. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/84G01N21/956G03F7/20G06T7/00G03H1/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Stichting VU
ASML Netherlands B.V.
Stichting Nederlandse Wetenschappelijk
Universiteit van Amsterdam
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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