Element zur Verwendung in einer Plasmabehandlungsvorrichtung und Plasmabehandlungsvorrichtung damit

EP3754046 Art A1 23. Dezember 2020

Anmelder: Kyocera Corporation, Toshiba Materials Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3754046
Aktenzeichen: EP19753612
Anmeldetag: 15. Februar 2019
Veröffentlichung: 23. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/08H01L21/3065H05H1/46C04B35/111C04B41/87H01J37/32C04B35/626C04B41/00C04B41/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kyocera Corporation
Toshiba Materials Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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🇯🇵 Toshiba Materials

Toshiba Materials ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toshiba-Konzerns, spezialisiert auf keramische und magnetische Werkstoffe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie anorganische Chemie und Werkstoffe, ergänzt um Metallurgie. Anmeldungen erstrecken sich über die Jahre 2004 bis 2024.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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