Montierte Hohlkernfaseranordnung

EP3754389 Art B1 30. Juli 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3754389
Aktenzeichen
EP20178861
Anmeldetag
9. Juni 2020
Veröffentlichung
30. Juli 2025
Erteilung
30. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G02B6/02G02B6/36G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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