Verfahren zur Nanofertigung unter Verwendung von Euv-Induzierten Oberflächenreaktionen
EP3754425
Art A1
23. Dezember 2020
Anmelder: PAUL SCHERRER INSTITUT 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3754425
- Aktenzeichen
- EP19181746
- Anmeldetag
- 21. Juni 2019
- Veröffentlichung
- 23. Dezember 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/004G03F7/20H01L21/033
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PAUL SCHERRER INSTITUT
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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